关键词：相位延迟器；1/4波片；光栅；模态法
摘 要：利用亚波长光栅的双折射特性,提出了一种新的基于模态法的相位延迟器的逆向设计方法。采用该方法示例设计了一种一维矩形石英光栅型相位延迟器,该相位延迟器为垂直入射,工作波长为532纳米,具有90°的相位延迟量(1/4波片)。应用严格耦合波法对示例设计相位延迟器的特性进行了理论计算验证。结果表明,采用模态法设计的90°相位延迟器的实际相位延迟量为90.2°,与理论设计值吻合;同时在Δφ=90±2°的范围内,光栅周期具有Λ=300+32-47nm的较大容差,且TE和TM偏振光的0级透射衍射效率均高于96.7%。
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