关键词：循环生产;西门子法多晶硅;四氯化硅;生产效率;生产周期;副产物;低成本生产;三废排放;能源设备;多晶硅生产;
摘 要：四氯化硅是西门子法多晶硅生产中副产物,其循环使用是长期制约我国多晶硅低成本生产的关键因素,但其氢化条件苛刻,温度在520~580℃,压力2.5~3.8MPa,临氢,循环生产周期短,需3个月~6个月检修和更换,生产效率低下,其更换更带来大量的三废排放,给环境带来污染。在我国,如何高效、稳定运行多晶硅循环生产的多晶硅冷氢化装置,一直是业界
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