关键词：微电子;机械系统;力学问题;研究分析
摘 要：在微电子机械系统当中,存在着许多力学问题,对这些力学问题的分析和研究工作是不可忽视的。本文就微构件材料的基本力学性能研究作出了阐述,以及分析计算微构件的力学问题,深入探讨了微电子机械系统中的各种力学问题。希望通过本文的分析,能对微电子机械系统中的力学问题给出有效见解。
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