关键词：四质量块微机械陀螺;;环式耦合梁;;中心锚点
摘 要：本文所研究的环式分布的四质量块微机械陀螺,能够同时具备音叉式陀螺和半球谐振陀螺各自的一部分优点,即同时具有较大的集中质量、全对称的结构及较高的Q值。陀螺的四个质量块沿中心的环形耦合梁均匀分布,每个质量块的驱动方向与检测方向均与相邻两个质量块振幅相等、相位相反,角速率信号通过检测梳齿产生的差分电容变化实现检测。陀螺中心的环形耦合梁直接联结四个质量块,环形耦合梁内部的中心锚点作为支撑点直接与外部联结,避免外部应力对陀螺弹性梁及检测梳齿产生影响,可以极大的提升陀螺的环境适应性。对中心环式分布的四质量块微机械陀螺进行流片和测试,陀螺整体的Q值可以达到200000,中心频率为4 k Hz。陀螺在室温条件下的零偏稳定性优于4°/h,陀螺的带宽达到了60Hz,量程达到±500°/s。
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