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高端制造关键品,自主国产待突围

加工时间:2023-10-12 信息来源:EMIS 索取原文[46 页]
关键词:特种气体;工业制造;电子特气
摘 要:

特种气体是高端工业制造的必备品,技术与市场壁垒较高。特种气体分为标准气体、高纯气体、电子特气等,在单一品种下产销量规模较小,但对纯度、精度、品种、性质都有很高的要求,技术与市场壁垒明显,多用于半导体、通信、医疗等新兴高技术下游。电子特气是泛电子类产品生产中的关键性材料,在电子制造工艺中的清洗蚀刻、光刻、外延/沉积/成膜、掺杂等环节皆承担着重要功能,广泛应用于芯片、显示面板、光纤、医疗等领域。


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