5196 篇
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11980 篇
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2642 篇
3364 篇
638 篇
1213 篇
1936 篇
4806 篇
3745 篇
5074 篇
半导体射频电源，刻蚀+CVD设备的核心，国产化替代拐点已至
什么是射频电源？是用来产生射频电功率的电源。核心作用—通过产生高频电磁场，将在低压或常压下的气体进行电离、从而形成等离子体。由于不同气体产生的等离子体具有不同的化学性能，从而在腔体内部实现不同的工艺需求。下游应用：射频电源被广泛应用于半导体工艺设备、LED 与太阳能光伏产业、科学研究、射频感应加热、医疗美容、常压等离子体消毒清洗等领域。工作频率一般处于 2MHz 至 60MHz 之间。
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027-87841330