关键词：电子探针;不确定度;镁橄榄石;ZAF修正法
摘 要：本文基于氧化物的ZAF修正法对典型样品进行定量分析。在得出了定量分析结果之后,分析了样品测量不确定度的来源,得出电子探针定量分析的不确定度模型,测算了每个影响因素的具体数据,最后计算出了定量结果的扩展不确定度。结果表明ZAF修正法引入的不确定度对测试结果的不确定度影响非常小,主要影响结果不确定度的因素是测量重复性引入的不确定度造成的。利用不确定度提高测试和仪器校准的准确度,可以对电子探针定量分析的后续工作提供基础和保障。
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