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超高硬度纳米复合薄膜Ti-Si-N结构的研究进展
作者:任元;刘学杰;谭心;郭金鸽;孙士阳 作者单位:内蒙古科技大学机械工程学院,包头014010 加工时间:2014-03-15 信息来源:《材料导报》
关键词:Ti-Si-N薄膜;纳米复合结构;界面结构
摘 要:综述了Ti-Si-N超硬纳米复合薄膜结构形式的研究进展.介绍了研究者对Si原子在Ti-Si-N中形成的晶界是否为晶态的认识与研究,阐述了Si原子在Ti-Si-N中所形成的界面结构形式的研究现状以及Ti-Si-N薄膜沉积过程中的形成机制,并展望了Ti-Si-N超硬纳米复合薄膜今后的研究方向.
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