半导体行业商业模式从集成化向产业链垂直化分工演变，并经历了两次空间上的产业转移。半导体行业经历了三个发展阶段，通常以4-6 年为一周期，并且有加快的趋势。

一、半导体行业概况 .............................................................................................................. 5

1. 半导体行业产业链 ......................................................................................................... 5

2. 半导体产业链工艺流程及设备 ....................................................................................... 8

二、投资逻辑：智能化带来新增长，技术发展及政策支持设备需求增长 ............................. 11

1. 投资逻辑一：智能化驱动新需求——数据时代引领发展，带动相关行业设备的需求 ... 11

2. 投资逻辑二：技术进步驱动——摩尔定律驱使技术进步，新技术催生新设备需求 ..... 14

3. 投资逻辑三：我国政策驱动——政策驱动产业快速发展，提升半导体企业竞争力 ..... 16

4. 投资逻辑四：第三次产业转移——中国晶圆厂建设迎高峰，半导体设备需求明显 ..... 20

三、半导体设备市场国外占据主导，但国内在不同子领域取得突破 .................................... 25

1. 全球半导体设备市场稳定增长，国外公司占据市场主导地位 ...................................... 25

2. 我国半导体设备市场增速快，国产替代市场空间大 .................................................... 27

3. 半导体设备典型工艺与现状 ......................................................................................... 30

3.1 制造过程设备——光刻机 ...................................................................................... 31

3.2 制造过程设备——刻蚀机 ...................................................................................... 35

3.3 制造过程设备——薄膜沉积设备 ............................................................................ 38

3.4 封测过程设备......................................................................................................... 41

四、国外半导体设备典型公司 .............................................................................................. 44

1. 阿斯麦（ASML）——全球光刻机设备龙头 ................................................................ 44

2. 泛林半导体（LAM RESEARCH）——全球刻蚀机设备龙头 ...................................... 46

3. 应用材料（AMAT）——全球CVD 设备龙头 .............................................................. 48

五、国内半导体设备典型公司 .............................................................................................. 50

1. 晶盛机电 ...................................................................................................................... 50

2. 北方华创 ...................................................................................................................... 51

3. 长川科技 ...................................................................................................................... 53

4. 精测电子 ...................................................................................................................... 54

六、风险提示 ....................................................................................................................... 55