关键词：脉冲激光沉积法;类金刚石薄膜;机械瓣膜;沉积时间;微观结构;表面形貌
摘 要：用脉冲激光在机械瓣膜上沉积类金刚石薄膜的实验中,保持其它实验参数不变,沉积时间分别取40min和50min来沉积类金刚石薄膜。用Raman光谱仪对机械瓣膜衬底和薄膜的微观结构进行检测;用原子力显微镜对薄膜的表面形貌进行检测。结果表明:机械瓣膜和薄膜的微观结构明显不同,并且在其它实验参数不变的条件下,沉积时间从40 min增加到50min时,薄膜中sp3/sp2的比值略微升高,薄膜的密度略微增大,薄膜中石墨晶粒的数量或体积几乎不变,薄膜的表面形貌和粗糙度几乎不变。用脉冲激光沉积法在机械瓣膜上沉积出的类金刚石薄膜和机械瓣膜之间具有很好的黏附性。
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