关键词：全氟丁二烯;六氟丁二烯;六氟-1,3-丁二烯;HFBD;吸附;蚀刻
摘 要：全氟丁二烯(六氟丁二烯，六氟-1,3-丁二烯，C_4F_6,HFBD)是一种性能优异的新一代电子工业用蚀刻气，应用前景广阔。HFBD的合成工艺多样，基本上都是采用偶联法、脱卤法和格氏试剂法。原料中含有的主要杂质除氮气(N_2)、氧气(O_2)等不凝性气体能用精馏法轻松脱除外，其它的杂质均可以用吸附法脱除。通过使用沸石类分子筛、活性氧化铝、碳分子筛、硅铝酸盐分子筛、碱盐等进行吸附实验，能将HFBD产品中的氟化氢(HF)、水分(H_2O)、含有丁二烯的氟氯化物、丁烯的二聚体、少量的醇及醚等杂质均脱除到符合电子特气出货标准。实验结果表明，大部分吸附剂会引发不同程度的歧化反应，精制难度较大，故选用碱盐分子筛脱除HF，硅铝酸盐分子筛脱除醚，5 A分子筛脱除其余杂质。
内 容：原文可通过湖北省科技信息共享服务平台（http://hbstl.hbstd.gov.cn/webs/homepage.jsp)获取