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氮化硅薄膜的光致发光机制

作者：徐明；何贤模；芦伟作者单位：西南民族大学电气信息工程学院,信息材料四川省重点实验室,成都610041;;西南民族大学电气信息工程学院,信息材料四川省重点实验室,成都610041;四川师范大学物理与电子工程学院,固体物理研究所,成都610068 加工时间：2014-06-15 信息来源：《材料导报》

关键词：氮化硅薄膜；光致发光；机制
摘要：SiNx的结构和性能都会随x值发生显著变化,尤其是薄膜的发光性质.同时,在不同条件下制备的SiNx薄膜中都观察到了可见光致发光现象,研究者提出了相应的机制予以解释.总结了近十年来关于SiNx薄膜的光致发光研究进展,评述了其各种发光机制.

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