关键词：等离子体;;朗缪尔探针;;测量;;动态微弱信号;;高边检流;;低噪声
摘 要：简要介绍了朗缪尔探针测量仪的系统构成和工作原理,给出了信号发生及采集处理系统的电路设计。通过选用精密低噪声的仪用放大器并组合适当大小、适宜材料的电阻和电容构建模拟链路,以及贯穿于整个模拟链路的滤波电路设计,保证了低噪声采集电路的实现。采用高边检流和浮地方法,解决了单探针测量接地误差问题。设计有8×7个不同的电流采样量程,电压电流信号同步采样,可实现10nA～50 mA动态微弱信号的精确测量。
内 容：原文可通过湖北省科技信息共享服务平台（http://www.hbstl.org.cn)获取