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一种新型温度不敏感阵列波导光栅的设计
作者:张俪耀;吴远大;安俊明;王玥;潘盼;张晓光;王红杰;胡雄伟; 作者单位:中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室;河南仕佳光子科技有限公司; 加工时间:2013-12-20 信息来源:半导体光电
关键词:阵列波导光栅;;温度不敏感;;折射率温度系数;;补偿介质;;同心圆结构
摘 要:提出了一种新型结构的阵列波导光栅。在AWG的阵列波导中嵌入多种补偿介质,补偿二阶或二阶以上温度偏移。首先从理论上推导出器件的工作原理表达式;其次给出了器件结构的设计方案,阵列波导采用同心圆结构设计,使得嵌入介质与波导垂直,有效减小了散射损耗,并显著提高了芯片的集成度。最后,对器件性能进行了评估,引入的附加损耗小于1dB;理论上实现了零温度偏移。
内 容:原文可通过湖北省科技信息共享服务平台(http://www.hbstl.org.cn)获取
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