关键词：微纳结构;金刚石;
摘 要：复杂微纳结构表面指一类具有多层次及多尺度周期结构,且主要特征尺寸介于数十纳米至数十微米的功能表面,在诸多领域被广泛认为极具发展前景。为突破现行机械加工方法对复杂微纳结构的创成能力,本文融合刀具伺服车削与飞刀铣削原理性优点,提出了一种金刚石铣削伺服(Diamond milling servo,DMS)加工新方法。其基本特征在于:切削过
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