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激光散斑测位移实验中参数的分析与模拟
作者:田自君; 作者单位:重庆光电技术研究所; 加工时间:2013-12-20 信息来源:半导体光电
关键词:激光散斑;;散斑平均尺寸;;细激光束逐点再现;;模拟
摘 要:对激光散斑测定位移实验中的相关参数进行了分析,针对不同散斑特征尺寸对应的二次曝光散斑图的逐点再现过程进行了详细的计算机模拟。模拟结果显示,同一散斑图错开散斑平均尺寸的1~6倍距离叠加,在满足菲涅耳近似条件的衍射距离下用细激光束逐点再现,可得到理想的干涉条纹。
内 容:原文可通过湖北省科技信息共享服务平台(http://www.hbstl.org.cn)获取
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