关键词：紧急停车(ESD)系统;安全;设计;电子特种气体
摘 要：根据紧急停车(ESD)系统的独立性和安全性的技术要求,结合某电子特种气体生产的特点,对高纯甲基硅烷的精馏装置的ESD系统进行了硬件配置及完善的逻辑设计。实际运行结果表明,不管是生产装置故障,还是系统本身故障,都能迅速响应,使生产装置达到设计的安全停车工况,满足了装置系统的独立性和SIL3安全综合等级要求,提高了系统的可靠性和稳定性,保障了装置生产的安全稳定。
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