关键词：电子工业;超纯水;技术;应用
摘 要：超纯水是应用去离子化、反渗透技术、离子交换等技术生产出来的水。针对集成电路生产用水水质要求高的现状,设计开发了超纯水系统,设计采用Make up system+Polisher system组合工艺,制备电阻率> 18MΩ·cm;DO
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