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AZO薄膜制备工艺及其性能研究

作者：黄稳；余洲；张勇；刘连；黄涛；闫勇；赵勇作者单位：西南交通大学超导研究开发中心材料先进技术教育部重点实验室,成都610031;西南交通大学超导研究开发中心材料先进技术教育部重点实验室,成都610031;新南威尔士大学材料科学与工程学院,悉尼2052 加工时间：2014-03-15 信息来源：《材料导报》

关键词：AZO；结构特性；光电特性
摘要：综述了掺铝氧化锌(AZO)薄膜制备方法与光电特性,重点阐述了磁控溅射法制备工艺参数如衬底温度、溅射功率、气体压强、溅射时间、衬底和靶间距、负偏压等对AZO薄膜结构、光电性能的影响,并指出目前AZO薄膜的研究关键以及所面临的挑战,展望了未来的研究方向.

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