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不同腐蚀深度对多晶硅太阳能电池电性能的影响

作者：陈明敬；马继奎；刘莉丽；闫英丽；张东升；史金超作者单位：风帆光伏能源有限公司,保定071051;英利能源(中国)有限公司,保定071051 加工时间：2014-04-15 信息来源：《材料导报》

关键词：多晶硅；酸溶液腐蚀；反射率；转换效率
摘要：研究了多晶硅片表面织构化对太阳能电池电性能的影响,通过调整工艺参数得到腐蚀深度分别为2.9μm、3.8μm、4.6μm的3批样品,采用扫描电子显微镜(SEM)和光谱响应系统表征了表面形貌和反射率,分析了腐蚀深度与后续各制程的关系.对比了绒面反射率及电性能参数,确定了最佳的腐蚀深度.

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