关键词：电子探针;微区成分;定量分析;影响因素
摘 要：电子探针定量点分析是精确测量块体材料微区元素浓度的有效方法。元素定量分析干扰因素较多,在实际应用中实验结果经常偏离元素浓度总量(100%),上下偏差达2%以上。通过浅析元素定量分析的影响因素,提出应对措施并指导同行业者避免干扰因素的产生,确保定量分析结果尽量控制元素浓度总量在99%～101%之间。
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