半导体检测贯穿于产品生产制造流程始终，产品小组通过分析检测数据确保产品工艺参数符合设计需求，并用以确定问题来源，及时采取修正措施，从而达到减少缺陷、提升产线良率的目的。良率的提升直接影响厂商的生产成本和订单获取能力，半导体检测虽不直接参与生产，却是厂商市场竞争能力的关键影响因素。

一、检测工艺是集成电路产线的重要环节..7

（一）检测工艺可分为设计验证、前道量检测和后道检测.7

（二）检测是芯片厂商提高良率、降低成本、提高竞争实力的关键..8

二、前道量检测监控加工工艺，KLA 一家独大傲视群雄.9

（一）前道量检测贯穿晶圆制造环节始终，是芯片生产线的“监督员”..9

（二）量测是验证晶圆加工后应该呈现的结果.10

（三）检测是寻找晶圆加工后不应该呈现的结果. 11

（四）前道量检测设备种类繁多.12

（五）前道检测设备市场空间巨大，KLA 一家独大垄断市场...14

1、前道量检测设备空间达58 亿美元...14

2、KLA-Tencor：前道检测设备绝对龙头，垄断半导体前道量检测设备市场..15

3、新兴行业、工艺进步共同推动前道量检测设备需求增长...17

三、后道检测验证产品质量，海外寡头垄断各细分市场...19

（一）后道检测工艺是芯片生产线的“质检员”..19

1、CP 测试确保只有正常工作的芯片才会进入封装环节..19

2、FT 测试确保只有性能合格的产品才会最终流入市场..19

（二）后道检测主要设备：测试台、探针台、分选机...20

1、测试台：芯片功能与性能的检测设备.20

2、探针台：运用于CP 环节晶粒与测试台的连接...21

3、分选机：根据测试结果对产品进行筛选与分类..22

（三）后道检测以SoC 和存储器产品为主要标的...23

1、SoC 和存储器测试台销售占比超过80%...23

2、SoC 芯片：芯片未来发展的主流趋势.24

3、存储器：集成电路最大的业务板块.24

（四）后道检测设备市场空间巨大，国外寡头垄断市场..25

1、后道检测设备整体市场空间将达到56.5 亿美元，测试台需求将会继续增长.25

2、泰瑞达：测试台整体市场份额第一，营收居行业首位...26

3、爱德万：存储器测试台龙头企业，强势进军SoC 市场..29

4、东京精密：探针台细分市场领导者.33

四、国内企业蓄势待发，星星之火可以燎原...35

（一）大陆晶圆产线建设潮带来巨大的设备国产化空间..35

（二）长川科技：国内后道检测设备领头羊..36

（三）上海睿励：国内前道量检测设备的希望.38

（四）精测电子：面板检测设备龙头，进军半导体检测产业.39

五、风险提示...40