关键词：可调光滤波器;;MEMS扫描微镜;;衍射光栅
摘 要：提出了基于MEMS微镜和透射式衍射光栅的可调光滤波器(TOF)方案,并对TOF进行了详细的设计。其中MEMS微镜采用体硅微加工工艺制作,镜面尺寸达到1.8mm×2.7mm,扭转角度达到±2.1°。测试结果显示,TOF系统的偏振相关损耗为0.34dB,插入损耗为2.6dB。该系统成功地实现了波长调谐的功能,得到相邻通道之间的调谐时间为1.507ms。
内 容：原文可通过湖北省科技信息共享服务平台（http://www.hbstl.org.cn)获取