关键词：无催化剂辅助化学气相沉积法；纳米棒阵列；Ca掺杂AlN；室温铁磁性
摘 要：采用无催化剂辅助化学气相沉积法,以无水AlCl3、NH3气和无水CaCl2分别作为Al源、N源和Ca源,首次获得Ca掺杂AlN纳米棒阵列.纳米棒的长度约为几百纳米,直径为200～500nm.能谱(EDS)证明Ca掺杂的原子分数约为4.4％;光致发光光谱(PL)表明N空位引起在359nm的发光中心；在磁性能测试中观察到明晰的磁滞回线,表明样品具有室温铁磁性.