关键词：磁控溅射；物理气相沉积；AlN薄膜；选择性吸收膜
摘 要：采用磁控溅射方法,在高纯氩气和氮气混合气氛下成功制备出Al(W)-AlN系太阳能选择性吸收薄膜.借助吸收光谱分析,比较了Al、W两种反射层材料上制备单层AlN和多层AlN薄膜的光谱吸收特性.结果表明:多层AlN薄膜比单层AlN薄膜的吸收性能好；W比Al更适合做反射面材料,W-渐变型多层AlN膜系对太阳能的吸收率可达到80％以上.