需求拐点叠加进口替代关键窗口期，本土设备龙头初步具备国产化能力我们认为国内半导体设备需求及订单向上拐点或已到来，2020 年行业有望实现较快成长，新增需求主要源自5G 商用推动全球存储芯片扩产及中国大陆整体晶圆、封测产能扩大，其中刻蚀和薄膜沉积设备的需求受益程度较高。国产设备企业随着中芯国际、长江存储等技术成熟度上升而获得更多验证试用平台和进口替代机会，但同时也正面临研发、税收、激励机制等方面的瓶颈和压力。目前本土设备产业链格局已初步形成，能够进入主流客户供应体系并契合未来工艺方向的优势企业主要包括：中微公司、北方华创、长川科技、晶盛机电等。

2019 年第四季度或是半导体设备产业恢复高增长的向上拐点 .......................................... 4

5G 产业浪潮驱动，全球半导体设备市场出现改善迹象 ............................................. 4

逆周期投资强化中国设备市场韧性，本土企业收入及订单向上拐点到来 .................. 7

国内设备产业体系形成，优势企业初步具备进口替代能力 ............................................. 10

中微公司：CCP 刻蚀机优势持续强化，ICP 刻蚀机实现量产突破 .......................... 11

北方华创：半导体设备布局渐趋完备，打造“平台型”产品体系 ........................... 15

长川科技：探针台、数字测试机新品蓄力，有望实现测试设备全品类布局 ............ 16

晶盛机电：半导体单晶炉批量化销售，向硅片后道加工设备不断延展 ................... 19

国产设备崛起还面临哪些问题？研发投入、税收压力、激励机制 .................................. 21

投资建议 ......................................................................................................................... 24

风险提示 .................................................................................................................. 26

附录：中国半导体设备非上市公司梳理 .......................................................................... 27

上海微电子：光刻机国产化中坚力量，满足90nm 制程工艺需求 ........................... 27

沈阳拓荆：PECVD 设备技术实力领先，成功研发ALD 设备 ................................. 28

中科仪：布局真空获得设备与PVD、CVD 设备 ..................................................... 29

盛美半导体：全球化发展布局，清洗设备进入国内外主流晶圆厂 ........................... 31

华海清科：12 寸CMP 设备先后进入中芯国际、上海华力 ..................................... 32

南京晶升能源：12 寸单晶炉进入国内硅片领先企业 ............................................... 33