关键词：Co颗粒;CeO_2涂层;磁控溅射;微观组织;磁学性能;电学性能
摘 要：为了提高电子元件表面CeO_2涂层的电磁学性能,通过设置不同功率Co金属靶的方式获得不同Co含量(原子分数)的Co/CeO_2复合涂层。采用试验测试的方式研究了其组织和电磁学性能。结果表明:逐渐增大Co含量后,涂层生长速率呈现线性上升,形成了具有六方晶格特征的Co不同晶面衍射峰,衍射峰的宽度也随之降低,强度明显提高。在涂层的表面区域存在许多团聚形态的颗粒,获得了更加粗糙的涂层表面组织。提高Co加入量后,会引起金属颗粒发生尺寸增大,形成相互团聚的金属颗粒,导致涂层内产生部分通路,涂层导电模式由电子隧穿方式转变至金属接触导电类型。加入的Co颗粒含量超过58.8%(原子分数)之后继续提高,涂层电阻率呈现线性变化,涂层获得了更大的饱和磁化强度,发生了金属颗粒团簇,引起矫顽力升高。当Co的含量于51.6%～62.0%之间发生改变时,涂层由超顺磁态过渡到了铁磁态,发生了铁磁和超顺磁共同存在的现象。
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