关键词：304不锈钢;;化学机械抛光;;氧化剂;;材料去除率;;表面粗糙度
摘 要：由于304不锈钢的优良特性,未来其将成为柔性显示器衬底的主要材料之一。为提高304不锈钢化学机械抛光的速率和质量,研究不同氧化剂在不同质量浓度或体积浓度及不同pH值下,对材料去除率和表面粗糙度的影响。结果表明:氧化剂Fe_2O_3、H_2O_2、FeCl_3都在pH=2时抛光效果最佳,氧化剂KMnO_4在pH=10时抛光效果达到最佳。在最佳的pH值下进行抛光,H_2O_2的体积浓度为10 mL/L时,表面粗糙度R_a最好,为4nm;在FeCl_3质量浓度为4.0g/L时,材料去除率最高,为209nm/min。
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