关键词：气膜阻尼;正交误差;压膜阻尼;惯性器件;滑膜阻尼;
摘 要：为提高微陀螺的机械品质因子Q值及其检测灵敏度,通常采用真空封装,但是在长期贮存条件下,由于漏率的影响,器件的内部气压变化(漏气是缓慢过程,且不可逆转)会导致器件性能下降甚至失效。因此针对高可靠性应用场合,需研究低Q值微陀螺。采用低Q值微陀螺方案,可以降低对驱动/检测模态频率匹配的要求程度,因为频率失配通常是由于加工误差造成的,也即降低了工艺要求。但是微加工的相对加工误差大,仍然会产生机械耦合误差,
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