关键词：电子信息;微机电;系统;技术
摘 要：在当今信息技术时代当中,微电子技术成为了基础和核心。随着微电子技术从原本的二维加工逐步变成三维加工,微电子技术显著影响到信息技术乃至人们的生活。微机电系统也就是微电子机械系统,成为了电子和精密机械加工技术良好结合的事物,成为了多学科互融的全新范畴。在全球经济发展中,电子通信技术产业身为基础性产业具备了十分重要的位置,微机电系统体现出的高科技含量成为了电子信息技术产业的主要代表,微机电系统的发展能力则会体现出我国总体电子信息产业的发展能力。
内 容：原文可通过湖北省科技信息共享服务平台（http://www.hbstl.org.cn)获取