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微弧氧化法及其在铁电薄膜制备中的应用

作者：王敏；郭会勇；李文芳作者单位：华南理工大学材料科学与工程学院,广州510640;华南理工大学材料科学与工程学院,广州510640;广东技术师范学院机电学院,广州510665 加工时间：2014-03-15 信息来源：《材料导报》

关键词：微弧氧化；铁电薄膜；阳极氧化
摘要：介绍了微弧氧化法的基本原理和工艺过程；综述了微弧氧化法制备铁电薄膜的发展历程及最新研究进展；讨论了目前微弧氧化制备铁电薄膜过程中存在的主要问题；提出了合理选择溶液体系和溶液浓度,研究工艺参数对薄膜表面形貌和铁电、介电性能的影响,提高薄膜表面质量是促进微弧氧化制备铁电薄膜技术发展的关键.

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