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多晶硅太阳电池表面激光织构工艺研究
作者:佘鹏;曾梦麟 作者单位:湖南大学微纳光电子器件及应用教育部重点实验室,长沙410082 加工时间:2014-03-15 信息来源:《材料导报》
关键词:多晶硅太阳电池;减反射;激光织构
摘 要:采用激光刻蚀,辅以化学溶液腐蚀对多晶硅片进行了表面织构.利用扫描电镜(SEM)、Helios LAB-rc反射率测试仪和Semilab WT2000少子寿命仪对样品进行了表征.结果表明,多晶硅表面经激光织构后表现出很好的陷光效果,反射率降低为8.0%.激光织构使硅片的少子寿命缩短,通过沉积Al2O3钝化薄膜可改善多晶硅片的电学性能.
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