我们认为，受益于半导体产能投资扩张和国家战略支持，本土设备产业迎来“最好的时代”，刻蚀设备有望成为国产化前沿阵地。虽然海外巨头垄断全球市场，中外刻蚀设备仍存差距，但上海中微半导体（未上市）、北方华创等本土企业刻蚀设备的技术积累和国产化布局正稳步推进，有格局、重研发、有耐心的优秀企业有望率先脱颖而出获得国内外晶圆制造企业认可。

刻蚀技术解析：半导体工艺的“点睛之笔” ...5

刻蚀环节是复制掩膜图案的关键步骤，干法刻蚀是芯片制造主要技术路径..6

干法刻蚀设备：高密度等离子体刻蚀是先进制程工艺技术主流..8

半导体设备国产化前沿阵地，本土刻蚀设备空间广阔..12

全球刻蚀设备市场高度集中，海外龙头自主研发实力强劲..12

国产刻蚀设备制造商奋起直追，进口替代历史机遇渐行渐近.14

中国大陆半导体设备需求高涨，刻蚀设备18~20 年年均市场或达331 亿元..16

全球刻蚀设备龙头：紧跟先进制程技术发展，聚焦自主研发...20

拉姆研究：占据全球刻蚀设备市场半壁江山的业界龙头..20

应用材料：纵横半导体核心设备的全球旗舰..22

东京电子： 半导体+平板显示器刻蚀双轮驱动的设备提供商.24

关注技术领先并进入主流晶圆厂供应体系的国产设备企业...26

中微半导体：潜力深远的国产刻蚀设备领先制造商...26

北方华创：产品体系丰富的国产刻蚀设备企业..28

风险提示.32