关键词：多晶硅;活性炭;再生;吸附
摘 要：尾气回收活性炭吸附柱内逐渐积累氯硅烷、HCl和B、P等杂质，导致碳吸附塔中活性炭的吸附性能降低，从而影响循环氢气纯度和成品质量，结合活性炭吸附柱的穿透曲线，调研了活性炭的再生工艺。
内 容：原文可通过湖北省科技信息共享服务平台（http://hbstl.hbstd.gov.cn/webs/homepage.jsp)获取