机械特种加工教学案例:超声化学机械抛光实验
作者:许文虎; 钟敏; 石志新; 陈建锋; 李小兵
加工时间:2024-02-21
信息来源:实验技术与管理
关键词:本科生;教学改革;超声波特种加工;大型科研项目;蓝宝石衬底
摘 要:针对机械类本科生教学需求,以科研项目为牵引,设计了机械特种加工教学案例“超声化学机械抛光(UVCMP)实验”。通过该案例,学生可全程参与蓝宝石UVCMP正交实验的设计与实施;学习并使用原子力显微镜、扫描电镜、透射电子显微镜等大型仪器表征样品特性;对蓝宝石UVCMP作用机理进行了深入探讨。该实验有利于学生激发科研兴趣,培养科研素养,启迪创新思维。
内 容:原文可通过湖北省科技资源共享服务平台(https://www.hbsts.org.cn/)获取