关键词：碳纳米管;微纳电子;导电性;应用
摘 要：碳纳米管(CNT)作为一种新型碳纳米材料,除具有传统碳材料的优良性质外,还具有比表面积大、机械强度大、硬度大、小尺寸效应、量子效应、热稳定性高以及导电性好等独特的电化学特性,成为应用于微纳电子器件中的理想功能材料。与传统电子器件相比,碳纳米管微纳电子器件的各项性能均更优越。文章着重介绍了碳纳米管的制备方式及其在微纳电子中的应用。
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