关键词：位移测量;;半导体激光器;;光反馈自混合干涉;;梯度最优算法
摘 要：为了提高位移测量的精确度,提出了一种基于光反馈自混合干涉技术的位移测量方法。采用梯度最优算法分析和处理自混合干涉信号,达到数据理论的最佳拟合,实现微位移的精密测量,并通过设计算法对外部物体的运动轨迹进行重构。提出的传感器可用于亚微米级位移的测量和控制,并给出了PZT位移的实验结果。
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