关键词：二氧化钒；复合薄膜；相变
摘 要：VO2(M/R)薄膜相变前后的红外透过率、电阻率变化显著,在光学、电学开关等领域极具应用潜力.VO2(M/R)复合薄膜能克服纯相材料本身的不足,还可以引入新的性能和结构.综述了VO2(M/R)复合薄膜的特点和主要性能,总结了薄膜的复合方式,讨论了复合薄膜制备中存在的问题,并结合近年的相变机理、制备工艺、复合方式等报道展望了VO2(M/R)复合薄膜的研究发展前景.