关键词：关 键 词: BaTiO3; 纳米复合薄膜; 溶胶–凝胶法; 介电性能; 结晶化
摘 要：摘 要: 采用溶胶–凝胶法在 Pt/Ti/SiO2/Si 基板上制备了 Au-BaTiO3纳米复合薄膜, 并且对其晶体结构、微观组织和介电性能进行了研究。结果表明, Au 在复合薄膜中以直径为 5 ~ 22 nm 的 Au 纳米粒子弥散地分布在 BaTiO3基体中。Au 的添加量对复合薄膜的介电性能和表面形貌有很大影响, 其最佳添加量约为 5mol%。复合薄膜经过550℃的低温退火已经完全结晶为钙钛矿相, 其介电常数与 700℃退火的纯 BaTiO3薄膜的相当。在 Au-BaTiO3复合薄膜的结晶过程中, 一方面, Au 纳米粒子可能促进了中间相的分解; 另一方面, Au 纳米粒子诱发了钙钛矿...
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