关键词：电子级高纯乙炔;纯化;吸附;吸收;解吸
摘 要：乙炔是重要的化工和半导体工业的原料,电子级高纯乙炔C2H2(体积分数≥99.99%)在大规模集成电路制造中用于碳掩膜制备,如介电膜和光刻碳层掩膜,采用等离子体增强化学气相沉积工艺,可以形成稳定的碳层膜。为满足半导体工业对电子级高纯乙炔的需求,需要对工业乙炔进行纯化,通过吸附和吸收解吸实验进行乙炔的纯化,得到符合要求的电子级高纯乙炔。
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