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烧结工艺对铜电子浆料导电性能的影响
作者:刘晓琴;苏晓磊;刘新锋;屈银虎; 加工时间:2015-03-15 信息来源:材料科学与工程学报
关键词:铜电子浆料;烧结工艺;导电性能
摘 要:为了研究烧结工艺对铜电子浆料性能的影响,本文采用丝网印刷将铜浆料印刷到氧化铝陶瓷基片上,通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、能谱仪和四探针电导率测试仪对烧结后的试样进行了表征。结果表明:在氮气保护性气氛下,以5℃/min升温速率升到100℃,保温10min,烘干湿膜,然后以10℃/min的升温速率升到峰值温度450℃,保温20min,制得的导电铜膜层的导电性能最佳,电阻为13.45mΩ/□,满足工业化生产的要求。
内 容:原文可通过湖北省科技信息共享服务平台(http://www.hbstl.org.cn)获取
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