金属催化化学腐蚀法制备硅纳米线
作者单位：姚日晖,陈梓铭,YAO Rihui,CHEN Ziming(华南理工大学材料科学与工程学院,广州510640;华南理工大学发光材料与器件国家重点实验室,广州510640)王志恒,陈颖聪,陈津桥,WANG Zhiheng,CHEN Yingcong,CHEN Jinqiao(华南理工大学材料科学与工程学院,广州,510640)
加工时间：2014-03-15
信息来源：材料导报
关键词：金属催化化学腐蚀;硅;纳米线;metal-assisted chemical etching;silicon;nanowires
摘 要：主要阐述采用金属催化化学腐蚀法制备硅纳米线.首先介绍了金属催化化学腐蚀法的基本原理和条件,然后探讨了催化金属的种类、腐蚀时间、腐蚀液浓度、硅衬底的晶向、掺杂浓度等各种因素对金属催化化学腐蚀法制备硅纳米线的影响.
027-87841330