关键词：气压控制;;射频离子源;;PWM控制方式
摘 要：针对射频离子源实验对放电室气压精确控制的要求,提出了基于PWM控制方式的送气系统设计方案。结合真空系统的数学方程,利用Matlab-Simulink工具对PWM控制方式的送气过程进行仿真和分析,验证该控制方式的可行性。该送气系统以数字信号控制器为核心控制单元,采用前馈补偿和气压反馈PID控制策略,通过调节PWM占空比控制送气流量,以实现对离子源放电室气压的有效控制。实验结果显示了PWM控制方式能够对气压进行精确控制,基于该控制方式的送气系统能够满足射频离子源放电实验要求。
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