关键词：标定系统;;高精度;;压电陶瓷;;位移传感器
摘 要：为实现对高精密位移传感器的自动标定,提出一种采用微位移发生系统产生标准被测量,激光传感器作为标准量检测系统,同步数据采集系统进行数据采集,计算机系统控制采集系统与处理数据的标定系统。通过合理设计压电陶瓷微动调节装置,实现其控制精度约为5%/FS.实验表明该标定系统方便高效。
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