关键词：硅片传输机器人；振动抑制；轨迹规划；S型曲线
摘 要：针对硅片传输机器人末端低频振动问题，提出了一种基于最优S曲线轨迹的硅片传输机器人低频振动的抑制方法。该方法通过推导在参数化S型曲线输入条件下非线性时变系统的动态响应近似方程得到系统低频振动的振幅方程，并通过优化振幅方程中的S型曲线参数使得低阶振动振幅达到最小值，从而实现低频振动的抑制。首先对硅片传输机器人进行运动学、末端位置误差以及刚柔耦合动力学建模并进行动态特性分析。随后推导了在参数化S曲线输入条件下系统末端的时域动态响应方程近似解析解与振幅方程近似解析解，并根据硅片传输机器人自身的动态特性给出了最优S曲线参数计算方法。最后分别通过数值仿真分析与实验对该方法进行验证。实验结果表明，应用该方法后硅片传输机器人末端x方向的低频振动的振幅降低了53.9%，y方向的低频振动的振幅降低了45%。