关键词：硅微机械陀螺;馈通干扰;零偏;模态频差;半频谐振信号
摘 要：硅微机械陀螺仪激励电极及读出电极间存在寄生电容，进而在读出信号中引入与其同频同相的馈通干扰信号。针对此现象，采用时域法对馈通干扰下力平衡模式的零偏特性进行理论推导，通过Simulink仿真及实验对结论进行验证。研究表明：馈通干扰导致力平衡模式驱动力一定时，陀螺零偏随模态频差改变发生变化。随后根据硅微机械陀螺仪静电力生成原理，设计一种采用半频谐振信号检测环路力平衡的控制系统，并通过实验验证了陀螺零偏在90 Hz模态频差变化范围内波动不超过0.17%,馈通对零偏的影响得到有效抑制。
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