关键词：铝掺杂氧化锌;两步冷烧结;电阻率;致密化过程
摘 要：采用两步冷烧结工艺（TS-CSP）在300℃超低温度下制备了高密度的铝掺杂氧化锌（AZO）陶瓷。采用XRD、密度测试仪、SEM、四探针测试系统等对AZO陶瓷的物相、相对密度、微观结构和电学性能进行了测试及表征。结果表明，Al掺杂量对AZO陶瓷的结构与性能有重要影响。当Al₂O₃掺杂量为2.0 wt.%时，可制备出无杂相、结构致密、电学性能良好的AZO陶瓷，经退火处理后其相对密度高达99.46%，电阻率低至3.43×10^-3Ω·cm。该方法制备的AZO陶瓷具有重要的应用前景。
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