关键词：铌酸锂;化学机械抛光;异质集成;极化
摘 要：使用化学机械抛光制备硅基铌酸锂单晶异质集成薄膜，研究了在薄膜制备过程中不同阶段下薄膜状态，利用原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱分析(XPS)对单晶铌酸锂的表面形貌与元素含量变化进行了表征，并通过高压极化装置对铌酸锂薄膜实现了大面积周期性极化。研究结果表明，随着研磨步骤的进行，样品表面粗糙度逐渐降低，完成最终抛光工艺后，样品表面均方根粗糙度基本达到初始样品水平；抛光过程会导致Li缺失，但是可以通过后续工艺进行修复，研磨过程中引入的杂质元素会随着工艺的进行逐渐被去除，最终得到高质量硅基铌酸锂单晶薄膜；使用高压极化装置对铌酸锂薄膜进行极化，得到周期极化的条形电畴反转单元结构。该研究对制造基于铌酸锂的高性能传感器件具有重要意义。
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