关键词：石英;微机械陀螺仪;压电效应;Z切音叉微机械陀螺仪;ST切表面声波微机械陀螺仪;AT切厚度剪切振动陀螺仪;微电子机械系统(MEMS)
摘 要：对Z切、ST切、AT切三种切割方式的石英单晶微机械陀螺仪的基本工作原理进行了阐述，梳理了不同类型陀螺仪的发展历程，重点介绍了三种石英单晶微机械陀螺仪的设计结构、性能特点及其应用场景，并从灵敏度、动态范围、稳定性、抗冲击性及工作频率等方面对三种类型石英微机械陀螺仪各自的性能优势与面临的技术挑战进行了评述，总结了当前国内外在石英单晶微机械陀螺仪研究领域的主要进展和创新点。最后，针对不同切割方式的石英单晶微机械陀螺仪的结构及工作特点，分析了其各自的优点与不足，进行了总结和对比，讨论了石英微机械陀螺仪的未来发展方向。
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