关键词：智能自动化系统;智能机械臂控制;半导体显示;产能提升;Product Staging技术方案
摘 要：半导体行业作为自动化水平最高的行业，为了提升企业核心竞争力，产能要求不断加大，尤其是一些关键制程设备的产能逐渐成为整个工厂产能瓶颈，而联动设备控制逻辑复杂，更成为产能提升的关键。本文对半导体联动设备制程流程进行充分研究，导入智能自动化控制系统、机械臂控制方案，创新性提出Product Staging控制技术方案。实践表明，控制系统架构具有较高的稳定性和安全性，机械臂控制方案和Product Staging控制技术方案能够显著提升联动设备产能，满足制造业工厂对终端使用用户的需求。同时，此控制方案在光伏行业、新能源行业等联动设备产能提升中具有广泛的应用前景。
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